1.成膜均勻性小于1%；
2. LOADLOCK 樣品傳輸系統(tǒng)；
3.獨特的進氣設(shè)計，快速閥門相應（<10ms）,精確控制每個循環(huán)中的進源量，有效避免反應源的損失；
4.反應Gas line采用全包裹加熱式，對氣線進行差異式控溫方式進行加熱，管路加熱均勻；
5. ICP 遠程感應耦合等離子體系統(tǒng)；
6.原裝進口 1000W 射頻電源；
7.高性能真空系統(tǒng)（含進口干泵+分子泵）。